高精密对位平台

公司源自台湾技术团队研发的只有品牌"YARAK"高精密对位平台在高端设备上已得到广泛的推荐和使用。产品规格涵盖150mm、160mm、180mm、200mm、250mm、350mm、450mm、550mm，更大盘面尺寸我们可按要求定制。

XXY对准平台，也称为XYθ（Theta）平台或UVW对位平台，专为高精度对位设备而设计，它在XY平面中移动并围绕XY平面的中心旋转。我们提供常规的8种型号的XXY对位平台，小尺寸的重复定位精度为2μm，大规格的为3μm，这些型号的线性行程为±5 mm，大尺寸的可达±10mm。另外，XXY平台可以围绕XY平面的中心旋转到±3°，水平负载从15KG到100KG。

XXY对位平台特点：

• 尺寸结构多样化， XXY对位平台现有空心及实心两种设计，可满足用户不同的设计需求

• 薄型设计节省空间-采用Mini stage XYθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构

• 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度

• 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用

• 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度

• 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能

• 高精度、高刚性、稳定性保障，实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

• 可水平或倒置安装

XXY对位平台（uvw对位平台） 、视觉对位平台广泛应用于光学测量仪器，晶圆对准，LCD面板检测，半导体处理，激光切割和钻孔，复合机等领域。